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SEM用格納式BSEディテクター"REBEKA"
-技術仕様-

センサー・ユニット

  • YAG:Ceシンチレーター:高効率。低残光。30photons/keVにおいて指数関数的減衰時間75ns。
  • 外径15mm
  • 内部穴径6、4、2または1.2mm。この寸法により視野が制限されます。
  • Crytur社独自の低ネルギーコーティング(最低0.5keVまで感度あり)
  • 最低ビーム電流1pAまで感度。

メカニカル・ユニット

  • 寸法:406 x 100 x 72mm
  • 高真空対応ベローズデザイン
  • モーター駆動格納距離:150mm
  • x、y、z軸調整:+/-2mm
  • 再現性0.01mm
  • ディテクター先端は金属製保護管にカバーされます。最終厚さ3.5mm、幅24mm。
  • フランジは各種SEMに対応
  • 白、黒、青のマット表面仕上げが可能

電子制御ユニット

  • 寸法:210 x 180 x 80mm
  • 入力電圧:230/110V
  • 異なるスキャニングスピードに最適化された3つのノイズフィルター
  • バンド幅:50MHz
  • 内部ソース:0-1200V(PMT HV用)
  • ビデオ信号出力:-1/+1V(-5/+5V)
  • フルリモート制御ソフトウェア