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フォトギャラリー

グローブボックスに取り付けられたHEXチャンバーの写真です。ボックス内部にはサンプルステージだけがあり、成膜されたサンプルをボックス内部で取り扱うことができます。チャンバーは大気側にあることから、チャンバーのメンテナンスは大気環境で行うことが可能です。
抵抗加熱、スパッタ、電子ビーム蒸着、有機蒸着をグローブボックスと組み合わせて行うことが可能です。

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