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システムアクセサリー

HEXシステムは高度にモジュール化された真空システムなので、新規導入時に様々なアクセサリーを追加することができます。また、将来、研究の方向性が変更した時に、必要なアクセサリーを個別に追加することも可能です。

HEXシステムに追加可能ないくつかのアクセサリーを以下に記載します。その他にご興味のあるアクセサリーがありましたらお気軽にお問い合わせください。

QCM:膜厚および成膜速度モニター

QCM(Quartz Crystal Monitoring)は、単位面積あたりの水晶共振器の周波数の変化を測定することにより、単位面積あたりの質量変動を測定することが可能です。弾性共振器の表面における酸化物の成長や膜の堆積による、微量の質量の増減により共振は変動します。

HEX-QCMはすべてのHEX用成膜コンポーネントの成膜レートや膜厚のモニタリングを可能にします。マニュアルおよび全自動での制御が可能です。

サンプルおよびソースシャッター

HEXシステム用のすべてのコンポーネントおよびサンプルステージは材料の堆積を制御するためにマニュアルシャッターが付属します。これらのシャッターをオプションのオートシャッターにアップグレードすることにより、Korvus社製Niobiumソフトウェアを使用してラップトップPCから自動操作することが可能です。

パネルオプション

HEXシステムにはチャンバーのカスタマイズのために、下記のパネルオプションが用意されています。

  • ビューポートパネル:成膜プロセスの視認のため
  • ブランクパネル:チャンバーウォール
  • ガスラインパネル:活性薄膜堆積や成膜後アニーリングのためのチャンバーへのガス導入のため
  • PLDパネル:フォーカスオプティクス用アタッチメント付きのレーザービューポート
  • ソースパネル:HEXの用成膜コンポーネントの取り付けのため
  • カスタムメイドトップ/ボトムパネル:カスタムサンプルステージおよび排気オプションの取り付けのため

分光機器

HEXシステムには、プラズマの吸光スペクトルのモニタリングや、吸光スペクトルやフォトルミネッセンスのながら測定のための分光機器を取り付けることが可能です。

高真空ロードロック

HEXシステムには高真空ロードロックのオプションが用意されています。ロードロックは10分以内に排気することが可能で、HEXシステムのメインチャンバーの真空を破ることなしにサンプルを導入することが可能になります。

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