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HEXシステム



HEXシステムはコンパクトで柔軟性の高いモジュール式ベンチトップ薄膜堆積システムです。現在行っている研究のニーズや将来行う研究の方向性に合わせて、自由自在にシステム構成(ポート数や配置など)を変更することができます。

新素材開発、スパッタデポジション、電気接点コーティング、リフトオフプロセス、電子顕微鏡資料製作、教育やトレーニングなど幅広いコーティング・アプリケーションに適しています。

システムデザイン

HEXシステムの真空チャンバーには、軽量でありながら剛性の高いアルミニウム製フレームが採用されています。フレームの側面には6枚のパネルが取り付けられており、簡単な作業で交換することができます。

側面パネルにはチャンバーウォール(ブランクパネル)、ビューポートパネル、インスツルメントパネル、ガス導入パネルおよびQCM(膜厚計)パネルが用意されています。

従来の真空システムではステンレス製の真空チャンバーにポートが溶接されており、ポートの数や位置を変更することは困難です。HEXシステムの場合、側面パネルを交換することで、必要に応じてポートの数や位置を自由自在に変更することができます。

サンプル交換や材料交換のために定期的に取り付け/取り外しを行う必要があるサンプルステージや成膜ソースの固定にはバタフライナットが採用されています。さらに、冷却水やガスの接続にはクイックコネクターが採用されています。このことから、HEXシステムは定期メンテナンスに工具を必要とせず、作業時間を大幅に節約することができます。

サンプルステージ&ポンプ

アルミニウムフレームの上面および下面には、サンプルステージおよびターボ分子ポンプが取り付けられます。

標準モデルのHEXシステムのサンプルステージは、最大で100mm(4インチ)のサンプルに対応します。マルチサンプルホルダーを使用することにより、サイズの小さなサンプルを複数マウントすることが可能です。大型モデルであるHEX-Lは、最大で150mm(6インチ)のサンプルに対応します。

HEXシステムには標準で80l/sのターボ分子ポンプとバッキングポンプとしてダイアフラムポンプが付属しており、ベース圧力は8x10-7mbarです。

ターボ分子ポンプを300l/sにアップグレードすることにより、ベース圧力は4 x 10-7mbarに到達します。

省スペース設計

HEXシステムは60cm x 60cm程度のスペースに設置することができるコンパクトな真空システムです。一般的なラボベンチの上にも設置可能なので、利用可能なスペースが限られたクリーンルームでもお使いいただくことができます。

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