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有機蒸着源 ORCA

テクニック

低温(50-600°C)の材料蒸着には、その温度域での使用に特化したデザインのソースを必要とします。従来の蒸着源は>1000°で最も効率的に動作するよう作られており、導電熱損失を最小限に抑えることが要求されます。その結果、正確なPID制御を実行するためのメカニズムは、ほぼ放射熱損失に依存することになります。低温では放射熱損失は劇的に低くなり、従来の蒸着源ではオーバーシュートや温度変化の遅延が発生します。

ORCA:有機蒸着源

低温蒸着源であるORCAはルツボを能動的に冷却しています。加熱プロセスが強力な冷却プロセスによりバランスが取られていることにより、優れた安定性と制御性を実現しています。

ルツボは高熱伝導材料により作られており、蒸着レートに悪影響を与えるホットスポットが発生しません。オプションでアルミナおよびグラファイト製ライナーの用意があります。ルツボの取り外しや交換は非常に容易で工具は不要です。また、ルツボへの材料の再充填は非常に簡単でスピーディーに行うことができます。

ORCAルツボ本体にはKタイプの熱電対が差し込まれています。一般的な接触型熱電対よりも精度の優れた温度測定が可能です。ORCAソースには電源ユニットと低温動作に最適化されたPIDコントローラーが付属します。

ORCAソースはスパッタソース、電子ビーム蒸着源および抵抗加熱蒸着源などのテクニックと組み合わせて使用することができます。ORCAソースには冷却された保護キャップがあることから、隣接するソースからの熱干渉を最小限に抑えています。

仕様

ORCA
ルツボ容量 15cc(10cc:オプション)
温度範囲 50 - 600°C
電源 DC
冷却 水冷(0.5L/min)

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