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有機蒸着源 ORCA

有機物蒸着について

有機物など低温(50~600°C)で揮発する材料の蒸着には、その温度域での動作に特化した低温蒸着源が必要です。一般的な蒸着源は>1000°Cの高温で効率的に動作するよう、熱損失を最小限に抑えるよう設計されています。低温では熱損失が非常に低いことから、一般的な蒸着源を用いた場合、低温では温度のオーバーシュートや温度変更の遅延が発生します。
有機物の蒸着には、低温域でもオーバーシュートなく、短時間で温度変更ができる特別な蒸着源が必要になります。

ORCA:有機蒸着源

HEXシステム用低温蒸着源ORCAはルツボを積極的に冷却しています。加熱と冷却のバランスにより、優れた温度安定性と制御性を実現しています。

ルツボは熱伝導率の高い材質で作られていることから、蒸着レートに悪影響をおよぼすホットスポットが発生しません。アルミナ製やグラファイト製ライナーも用意されています。

ルツボの温度はKタイプ熱電対により測定されます。一般的な接触型熱電対よりも精度の高い温度測定が可能です。ORCAには電源ユニットと低温動作に最適化されたPIDコントローラーが付属します。

ORCAソースはスパッタソース、電子ビーム蒸着源および抵抗加熱蒸着源と組み合わせて使用することができます。ルツボ周囲は冷却された保護キャップに覆われており、隣接するソースからの熱干渉を最小限に抑えられています。

仕様

ORCA
ルツボ容量 15cc(10cc:オプション)
温度範囲 50 - 600°C
電源 DC
冷却 水冷(0.5L/min)

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