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抵抗加熱蒸着源 TES

テクニック

抵抗加熱蒸着はベーシックな薄膜成膜プロセスで一般的に使用されています。蒸着材料は導電体ボートまたは抵抗コイル内に配置されたルツボ内にセットされます。ボートやコイルは高電流を流すことで加熱されます。ボートの温度が上昇すると、ボート内の材料が蒸発し始めます。加熱温度(蒸着レート)は電流によって制御することが可能です。

抵抗加熱蒸着法の重要な利点はプロセスガスをしないことです。そのため高い真空環境下で動作し、堆積した膜にほとんど不純物が含まれません。

TES:抵抗加熱蒸着源

TES抵抗加熱蒸着源は蒸着材料補充時に素早くチャンバーから取り外すことが可能です。ボートとフィラメントも素早く交換することができます。

TESソースは1ソースまたは2ソースの構成が可能です。オプションとして、熱電対を取り付けることでボート温度をモニターすることが可能です。マニュアルまたは自動シャッターを取り付けることも可能です。

最大で合計5ソース(2ソースモデルの場合は合計10ソース)を1台のチャンバーに取り付けることができます。また、TESソースはスパッタソース、電子ビーム蒸着源および低温ソースなどのテクニックと組み合わせて使用することができます。

仕様

TES
ボート容量 1cc - 5cc
温度範囲 50-2200°C(材料に依存)
電源 DC, 600W(オプション:1.5kW)

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