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Kセル COMCELLシリーズ

概要

KセルComcell

Mantis社製Comcellシリーズは、MBEまたはハイブリッドUHVアプリケーションにおける、高純度および高精度での材料蒸着のために開発されたエフュージョンセルです。

アプリケーション

  • MBE
    KセルComcellシリーズは、試料作成、薄膜堆積やMBEアプリケーションなどの研究用成膜システムで使用されます。ホットリップ構造およびコールドリップ構造に対応しています。
  • 化合物材料
    KセルComcellシリーズは、500°Cから1300°Cの動作温度を必要とする元素や化合物に最適です。
  • ドーピング
    KセルComcellシリーズは、ドーピングソースとしても使用することができ、円錐形ルツボにも対応します。

特徴

Comcell各部名称

Comcellシリーズには水冷シュラウドが標準装備されており、動作中のアウトガスに起因するコンタミネーションを最小限に抑えることができます。高温ゾーンを構成するすべての部品は耐熱性素材製まはた熱分解窒化ホウ素(PBN)製です。フィラメントハウジングは、サブアセンブリーとして取り外しや交換が可能な個別ユニットとなっており、エンドユーザー自身によってスピーディーで信頼性の高いメンテナンスが可能にします。

オプション

  • マニュアルまたはモーター駆動シャッター
    Comcellシリーズにはマニュアルまたはモーター駆動シャッターを取り付けることが可能です。すべてのシャッターは磁気カップリング回転駆動が採用されており、長寿命で信頼性の高い構造です。
  • 低温および高温オプション
    COMCELLシリーズは、低温および高温のさまざまなオプションが用意されています。
  • 各種るつぼ
    材料および最高動作圧力に応じて、PBN、Al2O3およびBeOからるつぼ材質を選択することが可能です。

仕様

モデル Comcell10-500 Comcell10-1300 Comcell35-1300
取付フランジ ICF114 ICF114 ICF114
最大動作温度 600°C 1400°C 1400°C
最大動作温度(連続運転) 500°C 1300°C 1300°C
最大出力パワー 400W 600W 750W
真空側外径 50mm 50mm 60mm
真空側ソース長(標準) 300mm 300mm 300mm
ルツボ容量 10cc 10cc 35cc
冷却 水冷(0.5L/分) 水冷(0.5L/分) 水冷(0.5L/分)