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電子ビーム蒸着源 EVシリーズ

概要

電子ビーム蒸着源QUAD-EV-C

電子ビーム蒸着法は、材料となるロッドや材料が充填されたルツボに、加速した電子ビームを照射することにで加熱します。本質的に加熱温度に上限がないことから、抵抗加熱蒸着源やKセルでは難しい高融点材料を含め、さまざまな材料の蒸着を行うことができます。

低フラックス領域において非常に高い制御性で成膜速度をコントロールできることから、電子ビーム蒸着源は薄膜の堆積に最適です。また、ビーム中に不純物をほとんど含まないことから、表面科学や薄膜ドーピングといった不純物に敏感なアプリケーションで用いられます。Mantis Depostion社製EVシリーズは、蒸着レートの制御性向上と不純物の低減に考慮して設計されています。

アプリケーション

  • 表面科学
    EVシリーズはサブモノレイヤー/分での成膜レート制御が可能なので、精密な薄膜堆積を行うことができます。
  • リフトオフ・プロセス
    ソースからの熱負荷が非常に小さく、サンプル表面でのビームの角拡散が小さいことから、高品質な金属膜構造の堆積に最適な装置です。
  • コンタクトメタライゼーション
    ソースからの熱負荷が小さく、成膜速度を精密に制御できることから、電子ビーム蒸着源は他の成膜ソースよりもサンプルに近づけて使用することが可能です。このことから、金、ラパジウムおよびプラチナなどの高価な材料を効率的に使用することができます。
  • MBEドーピング
    成膜速度の制御性および応答性が非常に優れていることから、電子ビーム蒸着源はMBEアプリケーションにおけるドーピングソースとしても適しています。
  • 多層膜堆積
    4源同時蒸着モデルを使用することにより、多層膜を効率的に堆積させることが可能です。

特徴

QUAD-EV-C各部名称

Mantis Deposition社製ミニe-ビームエバポレータEVシリーズは、高品質なUHV対応部品で構成されており、250°Cまでベーク可能です。蒸着材料を取り付けるハース(炉床)部を含め、ソースヘッドは非常に効率的に冷却されています。これによりフィラメントと蒸着材料以外の部分の温度は環境温度程度に抑えられ、一般的な電子ビーム蒸着源やKセル、抵抗加熱蒸着源でみられるような、動作中のアウトガスはほとんど発生しません

Mantis社製電子ビーム蒸着源はフラックスモニタリングプレートを標準装備していることから、リアルタイムで成膜レートをモニターしたり、閉ループ制御により成膜レートを精密に自動調整することができます。フラックスモニタリングプレートはソースヘッドとシャッターの間に取り付けられていることから、シャッターが閉じている時も正確な成膜レートを測定することができます。

QUAD-EVエバポレータは4つの蒸着ポケットがあり、それぞれのポケットに独立したフィラメント、フラックスモニタリングプレートおよび高電圧チャンネルが装備されています。QUAD-EV-CおよびQUAD-EV-HPは、最大で4種類の材料を異なるパラーメーターで同時蒸着することができます。独立した高電圧チャンネルを有していることから、材料の過加熱などのアクシデントによって1つのポケットでショートが発生した場合でも他のポケットは機能します。

EVシリーズ用電源ユニットは信頼性の高い構造をしており、フィラメントと材料物質との間で異常放電が発生した場合もシャットダウンや誤動作を起こすことなく、シームレスな動作が可能です(ポンプダウン後の最初の動作時に上記のような現象が見られます)。

Mantis社製電子ビーム蒸着源はロッドとルツボの両方を使用することができます。蒸着方法についてご質問がありましたら、是非お気軽にお問い合わせください。

EVシリーズで採用されてるフィラメントはユーザーの手で簡単に交換することが可能です。フィラメントが破損した場合でも短時間でメンテナンスすることができます。

オプション

  • マニュアルシャッター/オートメーションシャッター
  • るつぼ/ライナー
  • オートメーションソフトウェア

仕様

モデル M-EV QUAD-EV-C QUAD-EV-HP
最大パワー 0-250W 0-250W 0-500W
ポケット数 1 4 4
フラックスモニター 標準装備 標準装備 標準装備
真空側外径 32mm 34mm 57mm
取付フランジ ICF70 ICF70 ICF114
真空側ソース長(標準) 200mm/300mm 200mm/300mm 200mm/300mm
冷却 水冷(0.5L/分) 水冷(0.5L/分) 水冷(0.5L/分)
同時蒸着 非対応 対応 対応
るつぼサイズ 1000, 390, 210mm3 390, 210mm3 1000, 390, 210mm3