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サーマルガスクラッカー MGCシリーズ

概要

サーマルガスクラッカーMGC75

サーマルガスクラッカーMGC75は電子ビーム加熱を応用したアトムソースです。独自のキャピラリークラッキング管を使用することにより、比較的低い温度で効率的に分子ガスを解離します。取付フランジはICF70なので、ほぼすべての真空チャンバーに取り付けることができます。

水素、酸素、アンモニア、塩素、フッ素などの様々なガスに対応しています。0 - 1sccmのガス流量で使用することができ、触媒分解作用を応用していることから、水素の場合、わずか75W(1000度以下)のパワーにより最高90%のクラッキング効率で解離することができます。

他のクラッキング方法とは異なり、サーマルガスクラッカーではビーム中にイオンをまったく含まないので、サンプルにダメージを与えません。

アプリケーション

  • 表面クリーニング
    MGC75は表面分析システムにおける表面クリーニングに使用することができます。
  • 表面改質
    MGC75は水素終端処理、パッシベーションおよび酸素化などの成膜前のサンプル処理に使用することができます。
  • MBE成膜
    MGC75はスペースに制限があったり、サイズの小さいサンプル(例えば10mm x 10mm)を使用するコンパクトなMBEシステムで使用することができます。

特徴

MGC75各部名称

MGC75はオールメタルシールを採用していることから、250°Cまでベーク可能UHV対応です。

このサーマルガスクラッカーは、ユーザーが交換可能なフィラメントが採用されており、構造内にろう付けされたセラミック部品を含まないことから、現場でユーザー自身でメンテナンスを行うことが可能です。クラッキングゾーンだけが高電圧を印加されていることから、ガスがイオン化することはありません。

酸素クラッキングにおけるMGC75の性能

酸素クラッキングデータ

オプション

  • マニュアルしずく型シャッター
  • オートしずく型シャッター

仕様

モデル MGC75
最大パワー 75W
クラッキング効率 最大90%(水素)
真空側外径 32mm
取付フランジ ICF70
真空側ソース長(標準) 200mm
冷却 水冷(0.5L/分)
ガス流量 0-1sccm
対応ガス O2, H2