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RFイオンソース RFMaxシリーズ

概要

RFイオンソースRFMax30

RFMaxシリーズは、Mantis Deposition社のプラズマテクノロジーに関する豊富な知識と経験が活かされています。誘電結合プラズマを発生させ、出口グリッドに高電圧をかけることにより、RFMaxは幅広い電流およびエネルギーのイオンビームを生成します。6mA/cm2以上のイオン電流、0.1eVから1keV以上のイオンエネルギーに対応します。

アプリケーション

  • サンプル処理
    RFMaxイオンソースは、サンプルクリーニングやサンプル前処理に使用されます。
  • イオンミリング/イオンビームエッチング
    RFMaxイオンソースは、酸素やアルゴン(グリッド材質に依存)を用いたイオンビームエッチングのためのミリングプロセスに使用されます。
  • イオンアシスト蒸着
    RFMaxイオンソースは、イオンアシスト蒸着によるスパッタ蒸着プロセスのサポートに使用することができます。

特徴

RFMax30各部名称

RFイオンソースRFMaxソースはオールメタル真空シールとなっており、250°Cまでベーク可能であり、UHVに対応しています。

放電管は高純度セラミックにより作られており、使用されるプロセスガス種によって材質が選択されます。誘電コイル内部も水冷されています。さらにソースのガス管も水冷されており、ガス管からのアウトガスに起因する不純物の発生を防ぐことが可能です。ソース先端部も水冷されており、外部シールドはこの部分に固定されています。これらの工夫により、動作中にソースが冷却され、UHV環境を保持することに寄与しています。

  • RFMax30
    RFMax30は取付フランジサイズICF114のコンパクトで幅広い動作範囲のイオンソースで、一般的に入手可能なほぼすべての成膜システムに取り付けることが可能です。このソースはグリッドや放電管といった交換部品をユーザー自身で交換可能な構造となっています。
  • RFMax60
    RFMax60は高性能で幅広い動作範囲のイオンソースです。取付フランジサイズICF152でビーム口径60mmです。RFMax60はビーム面積が広いことから大きなサンプルを用いるアプリケーションに適しています。このソースはグリッドや放電管といった交換部品をユーザー自身で交換可能な構造となっています。

オプション

  • オートマチックチューニング
    MATSシリーズは標準でマニュアルチューニングユニットが装備されており、ボタンを押すだけで自動的にチューニングを合わせることが可能です。
  • プラズマ輝度モニタリング
    プラズマ輝度モニターを使用することで、プラズマ内で生成されている分子種や原子種を観察することができます。分光器をRFアトムソースに取り付け、付属のソフトウェアパッケージを使ってプラズマ発光ラインをモニターすることが可能です。
  • マニュアルおよびオートシャッター
    MATSソースはマニュアルまたはオート駆動の一体型シャッターを取り付けることができます。このシャッターには長寿命の磁気カップリング式の回転導入器が採用されています。
  • 放電管
    ビーム中の不純物を最小限に抑えるために、放電管は高品質材料から作られています。使用されるアプリケーションによって、PBN、石英およびアルミナから材質を選択します。

仕様

モデル RFMax30 RFMax60
RFパワー 100-300W 100-600W
ビームエネルギー 0.1-1keV 0.1-1keV
電流密度 最大5mA/cm2 最大6mA/cm2
真空側外径 57mm 96mm
取付フランジ ICF114 ICF152
真空側ソース長(標準) 290mm 290mm
対応ガス O2, N2, H2, Ar... O2, N2, H2, Ar...
冷却 水冷(0.5L/分) 水冷(0.5L/分)
ガス流量 8-10sccm 10-15sccm
RFMax30側面