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抵抗加熱蒸着源 TBSシリーズ

概要

抵抗加熱蒸着源TBS-2

抵抗加熱蒸着源TBSシリーズは主に薄膜金属堆積のために開発されました。2ボートまたは4ボートの2つのバリエーションがあります。クロスコンタミネーションシールドが標準で装備されていることから、隣接するボート間で干渉することなく材料堆積が可能です。各ボートに個別のシャッターが備わっており、材料蒸着を制御することが可能です。

アプリケーション

  • 薄膜蒸着
    抵抗加熱蒸着源TBSシリーズは、薄膜金属蒸着に最適な蒸着源です。
  • 光学コーティング
    抵抗加熱蒸着源TBSシリーズは、光学コーティングにも適しています。
  • 多層膜蒸着
    TBSシリーズの制御性が非常に高いことから、非常に効率的に多層膜を堆積することができます。
  • コンタクトメタライゼーション
    コンタクトメタライゼーションは、抵抗加熱蒸着源TBSシリーズが最も利用されているアプリケーションのひとつです。

特徴

TBS-2各部名称

熱蒸着ボートTBSシリーズは金属製真空シールが採用されており、250ºCまでのベーキングが可能なUHV対応製品です。ICF152の取付フランジに2つのソースが装備されており、クロスコンタミネーションシールドによって、それぞれのソースが分離されています。ソースにはフィラメントまたはボートを取り付けることが可能で、デポアップ方式およびデポダウン方式の両方に対応可能です。ソースは直接水冷されていませんが、ソースの優れた設計によりチャンバーへの熱負荷が最小限に抑えられています。TBS-2-800には上限値が100Aの高電流電源が採用されています。

オプション

  • マニュアルまたはモーター駆動シャッター
    TBSシリーズにはマニュアルまたはモーター駆動シャッターを取り付けることが可能です。すべてのシャッターは磁気カップリング回転駆動が採用されており、長寿命で信頼性の高い構造です。
  • 各種ボート
    異なる形状およびサイズのボートを取り付けることも可能です。

仕様

モデル TBS-2-800 TBS-4-800
取付フランジ ICF152 ICF203
UHV 対応
(最高ベーキング温度250ºC)
対応
(最高ベーキング温度250ºC)
ボート数 2 4
ボート/フィラメント長さ 1 7/8インチ(標準) 1 7/8インチ(標準)
最大電流 100A 100A
シャッター あり(オプション) あり(オプション)
電源 標準装備 標準装備