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薄膜堆積用UHVコンポーネント

Mantis Deposition社製UHVコンポーネント

Mantis Deposition社は、電子ビーム蒸着源やマグネトロンスパッタソース、ガスクラッカー、RFアトムソースなどの様々な薄膜堆積用真空コンポーネントを製造しています。すべての製品はUHVに対応しています。

サーマルガスクラッカーMGC75

サーマルガスクラッカー

サーマルガスクラッカーは水素などの分子を解離するために使用されます。RFアトムソースと比較して必要ガス流量の下限に制限がないことから、表面科学などの低ガス流量アプリケーションに適しています。Mantis Deposition社製MGC75は耐活性ガス素材を使用することにより、一般的には難しい酸素分子の解離にも使用することができます。

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