SEM用格納式BSEディテクター"REBEKA"-技術仕様- センサー・ユニット YAG:Ceシンチレーター:高効率。低残光。30photons/keVにおいて指数関数的減衰時間75ns。 外径15mm 内部穴径6、4、2または1.2mm。この寸法により視野が制限されます。 Crytur社独自の低ネルギーコーティング(最低0.5keVまで感度あり) 最低ビーム電流1pAまで感度。 メカニカル・ユニット 寸法:406 x 100 x 72mm 高真空対応ベローズデザイン モーター駆動格納距離:150mm x、y、z軸調整:+/-2mm 再現性0.01mm ディテクター先端は金属製保護管にカバーされます。最終厚さ3.5mm、幅24mm。 フランジは各種SEMに対応 白、黒、青のマット表面仕上げが可能 電子制御ユニット 寸法:210 x 180 x 80mm 入力電圧:230/110V 異なるスキャニングスピードに最適化された3つのノイズフィルター バンド幅:50MHz 内部ソース:0-1200V(PMT HV用) ビデオ信号出力:-1/+1V(-5/+5V) フルリモート制御ソフトウェア