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SEM用格納式BSEディテクター"REBEKA"
-概要-

信頼性の高いセンサー

  • 単結晶YAG:Ceセンサー
  • 最高画質のためのシンチレーター/PMT原理
  • Crytur社独自の低ネルギーコーティング(最低0.5keVまで感度あり)
  • 優れたS/N比
  • 卓越した長寿命
  • HV + LV + ESEMオペレーション

精密な構造

  • モーター駆動式格納機構
  • ベローズシール式高真空システム
  • 格納距離150mm
  • コンパクトデザイン
  • 精密なアライメント
  • SEM接続のカスタマイズ