SEM用格納式BSEディテクター"REBEKA"
-概要-

信頼性の高いセンサー

単結晶YAG：Ceセンサー
最高画質のためのシンチレーター／PMT原理
Crytur社独自の低ネルギーコーティング（最低0.5keVまで感度あり）
優れたS／N比
卓越した長寿命
HV + LV + ESEMオペレーション

精密な構造

モーター駆動式格納機構
ベローズシール式高真空システム
格納距離150mm
コンパクトデザイン
精密なアライメント
SEM接続のカスタマイズ