薄膜堆積用UHVコンポーネント

Theris Nanotechnology社はナノ粒子の形成と堆積に関する幅広い専門知識と、PVD、ALD、MBE、PLDなどの一般的な堆積技術についての広範な理解を組み合わせており、理想的な装置構成のアドバイスや、その後のプロセス開発の支援を提供することができます。
展示会出展のご案内
2023年9月19日(火)から22日(金)まで熊本城ホールにて開催される第84回応用物理学会秋季学術講演会附設展示会JSAP EXPO Autumn 2023にナノ粒子生成ソースNanoStreamSの展示機およびカタログを展示いたします。皆様のご来場をお待ち申し上げます。

ナノ粒子生成ソース
ナノ粒子生成ソースNanoStreamSは改良されたDCスパッタリングソースを使用して、金属ターゲットからナノ粒子を生成します。化合物ナノ粒子を生成可能なNanoStreamTや、生成されたナノ粒子の質力測定とフィルタリングが可能なマスフィルターMSFもございます。
詳細情報