19インチラック上に設置可能なコンパクト設計。手前の2台はHEX（4インチサンプル対応）、奥側の1台はHEX-L（6インチサンプル対応）。

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動作中のHEXシステム。抵抗加熱蒸着源2台と膜厚計（QCM）がインストールされています。サンプルステージや成膜ソースが蝶ナットで固定されています。また、冷却水配管（黄色の配管）がワンタッチ継手で接続されています。

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HEXチャンバー内部の写真。抵抗加熱蒸着源2台が動作しています。

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HEXチャンバー内部の写真。スパッタソース2台が動作しています。

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HEXチャンバー内部の写真。回転加熱サンプルテーブルが動作しています。HEXは最大4インチ、HEX-Lは最大6インチのサンプルを取り付けることができます。小さいサンプルは1cm間隔であけられたネジ穴を利用して固定可能です。左側には膜厚計（QCM）があることが分かります。

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グローブボックスに取り付けられたHEXチャンバーの写真です。ボックス内部にはサンプルステージだけがあり、成膜されたサンプルをボックス内部で取り扱うことができます。チャンバーは大気側にあることから、チャンバーのメンテナンスは大気環境で行うことが可能です。
抵抗加熱、スパッタ、電子ビーム蒸着、有機蒸着をグローブボックスと組み合わせて行うことが可能です。

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6インチサンプル対応のHEX-L。チャンバーサイズが大きくなることから、最大で6台まで成膜ソースをインストール可能です。HEX-L専用のアクセサリーもあります。

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HEX-L専用アクセサリーの一つであるロードロックシステム。メインチャンバーを大気開放することなく、サンプルの交換が可能です。

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