サンプルステージ
正しいサンプルステージを選択することは、正しい成膜方法を選択することと同じくらい重要です。サンプルステージの特性は均一性やモルフォロジー、膜組成に影響を与えます。
固定サンプルステージ
HEXには直径4インチまでのサンプルに対応する固定サンプルステージが付属します。HEX-Lの場合は直径6インチまでのサンプルに対応する回転サンプルステージが付属します。
サンプルステージにはマニュアルシャッターまたはオートシャッターを取り付けることが可能です。
回転および加熱サンプルステージ
サンプル回転および加熱機構を追加することが可能です。サンプル回転（0または 2-20rpm）は膜均一性を劇的に改善します。寸法15mm以上のサンプルか高い均一性を必要とするアプリケーションに適しています。加熱機構は500°Cまでの加熱が可能で、いくつかの材料によっては膜モルフォロジーを改善します。
冷却サンプルステージ
水冷サンプルステージは温度感受性の高いサンプルの温度上昇を抑えることが可能です。例えば、リフトオフプロセスに適しています。
仕様
| HEXサンプルステージ | オプション |
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| 固定サンプルステージ |
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| 回転サンプルステージ |
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| 回転および加熱サンプルステージ |
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| 冷却サンプルステージ |
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| 冷却および回転サンプルステージ |
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