システムアクセサリー
HEXシステムは高度にモジュール化された真空システムなので、システム導入時に様々なアクセサリーを組み込むことができます。また、将来、必要に応じてアクセサリーを個別に追加することも可能です。
HEXシステムに追加可能ないくつかのアクセサリーを以下にご紹介します。その他にご興味のあるアクセサリーがありましたらお気軽にお問い合わせください。
QCM：膜厚および成膜速度モニター
QCM（Quartz Crystal Monitoring）は、単位面積あたりの水晶共振器の周波数の変化を測定することにより、単位面積あたりの質量変動を測定することが可能です。
HEX-QCMはすべてのHEX用成膜コンポーネントの成膜レートや膜厚のモニタリングを可能にします。マニュアルおよび全自動での制御が可能です。
サンプルおよびソースシャッター
成膜を制御するために、HEXシステム用のすべてのコンポーネントやサンプルステージにマニュアルシャッターを追加することができます。これらのシャッターをオートシャッターにアップグレードすることにより、Korvus社製Niobiumソフトウェアを使用してラップトップPCから自動制御することが可能です。
パネルオプション
HEXシステムにはチャンバーのカスタマイズのために、下記のパネルオプションが用意されています。
- ビューポートパネル：成膜プロセスをビューポートから視認可能
- ブランクパネル：チャンバーウォール
- ガスラインパネル：反応性薄膜堆積やアニーリングのためのチャンバーへのガス導入のため
- PLDパネル：フォーカスオプティクス用アタッチメント付きのレーザービューポート
- インスツルメントパネル：HEXの用成膜コンポーネントの取り付けのため
- カスタムメイドトップ／ボトムパネル：カスタムサンプルステージおよび排気オプションの取り付けのため
分光機器
HEXシステムには、プラズマの吸光スペクトルのモニタリングや、吸光スペクトルやフォトルミネッセンスのながら測定のための分光機器を取り付けることが可能です。
高真空ロードロック（HEX-L専用）
HEX-Lシステムには高真空ロードロックのオプションが用意されています。ロードロックは10分以内に排気することが可能で、メインチャンバーの真空を破らずにサンプル導入が可能です。