抵抗加熱蒸着源 TES
抵抗加熱蒸着について
抵抗加熱蒸着法は、最も一般的な真空蒸着プロセスです。ボート型やルツボ型の加熱容器に材料を置き、加熱容器に電流を流すことで抵抗熱を発生させ、材料を加熱します。加熱容器の温度が充分に上昇すると、容器内の材料が蒸発し始めます。蒸着レートは電流によって制御することが可能です。
抵抗加熱蒸着装置の利点はプロセスガスを使用しないことです。そのため高い真空度中で動作し、堆積した膜にほとんど不純物が含まれません。
TES：抵抗加熱蒸着源
HEXシステム用抵抗加熱蒸着源TESをインストールすることでHEXシステムを抵抗加熱蒸着装置として使用できます。TESソースは蝶ナット4個でチャンバーに固定されています。また、冷却水配管はクイックリリースコネクターにより接続されています。そのため、材料の補充やボート／フィラメントの交換を工具なしで素早く行うことが可能です。
最大5台のTESソースを1台のHEXチャンバーに搭載可能です。また、スパッタソースFission、電子ビーム蒸着源TAUおよび有機蒸着源ORCAと組み合わせて使用することができます。
仕様
| TES | |
|---|---|
| ボート容量 | 1cc - 5cc |
| 温度範囲 | 50-2200°C（材料に依存） |
| 電源 | DC, 600W（オプション：1.5kW） |