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サンプルステージ

正しいサンプルステージを選択することは、正しい成膜方法を選択することと同じくらい重要です。サンプルステージの特性は均一性やモルフォロジー、膜組成に影響を与えます。

固定サンプルステージ

HEXのベースシステムには最大で直径4インチのサンプルまで対応する固定サンプルステージが付属します。サイズの大きなHEX-Lモデルの場合は最大で直径6インチのサンプルまで対応します。4インチまたは6インチサンプル用のサンプルホルダーおよび小さなサイズのサンプルを複数枚取り付けることが可能なマルチサンプルホルダーが付属します。

サンプルステージにはマニュアルシャッターまたはオートシャッターを取り付けることが可能です。また、HEXシステムの上面にはマウンティングポストがあり、サンプル交換時にワークベンチ上に充分なスペースがなくても、HEXシステム上に安定してサンプルステージを固定することが可能です。

回転および加熱サンプルステージ

サンプルステージはサンプル回転および加熱モデルにアップグレードすることが可能です。サンプル回転(標準で0または 2-20rpm)は膜均一性を劇的に改善します。寸法15mm以上のサンプルか高い均一性を必要とするアプリケーションに適しています。このサンプルステージは300°Cまたは500°Cの加熱が可能で、いくつかの材料によっては膜モルフォロジーを改善します。

冷却サンプルステージ

水冷サンプルステージは温度感受性の高いサンプルの温度上昇を抑えることが可能です。例えば、リフトオフプロセスのコーティングステージに適しています。

仕様

HEXサンプルステージ オプション
固定サンプルステージ
  • 最大直径4インチのサンプルに対応
  • 2インチサンプルアダプタープレート付属
  • マニュアルまたはオートシャッター
回転サンプルステージ
  • マニュアルまたはオートシャッター
  • 2-20rpmサンプル回転(オプション:6-60rpm)
  • Kタイプ熱電対
回転および加熱サンプルステージ
  • 300°C加熱
  • 500°C加熱
  • マニュアルまたは自動シャッター
  • 2-20rpmサンプル回転(オプション:6-60rpm)
  • DCサンプルバイアス
  • Kタイプ熱電対
冷却サンプルステージ
  • マニュアルまたは自動シャッター
冷却および回転サンプルステージ
  • マニュアルまたはオートシャッター
  • 2-20rpmサンプル回転

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